真空應(yīng)用
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基于宏單元實(shí)驗(yàn)的蔭罩式PDP結(jié)構(gòu)的優(yōu)化
分析了蔭罩式等離子體顯示板( SMPDP) 的優(yōu)點(diǎn)和存在的不足, 以提高PDP放電效率為目的, 提出了非對(duì)稱SMPDP結(jié)構(gòu)。
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新型槽式跟蹤太陽(yáng)能集熱器的中高溫?zé)崂醚芯?/a>
采用新型導(dǎo)熱介質(zhì),主要介紹了集熱裝置的熱性能實(shí)驗(yàn)方法,并著重對(duì)槽式跟蹤太陽(yáng)能集熱器集熱性能進(jìn)行了研究及分析,通過(guò)對(duì)槽式跟蹤熱管真空管集熱器理論值與試驗(yàn)值的比較
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鎳硅顆粒膜的表面?zhèn)鲗?dǎo)電子發(fā)射特性
提出采用鎳硅顆粒薄膜作為表面?zhèn)鲗?dǎo)電子發(fā)射顯示的發(fā)射體材料,通過(guò)光刻和磁控濺射在兩電極(10 μm 間隙)之間制備30 nm 厚的鎳硅顆粒膜。
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鍍膜裝置蒸發(fā)源發(fā)射形態(tài)與膜厚分布
根據(jù)蒸發(fā)源與基片之間的物理聯(lián)系入手,分析基片- - 蒸發(fā)源距離對(duì)基片涂層均勻性的影響,進(jìn)而對(duì)蒸發(fā)源與蒸發(fā)源、蒸發(fā)源與基片之間距離的確定,提出了自己的一些觀點(diǎn)和看法。
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磁控濺射鍍膜膜厚均勻性設(shè)計(jì)方法
在現(xiàn)有的理論基礎(chǔ)之上,對(duì)濺射鍍膜的綜合設(shè)計(jì)方法進(jìn)行了初步的建立和研究,系統(tǒng)的建立可以采用“整體到部分,再到整體”這一動(dòng)態(tài)設(shè)計(jì)理念,不斷完善設(shè)計(jì)方法,并將設(shè)計(jì)方法分為鍍膜設(shè)備工程設(shè)計(jì)、鍍膜工藝設(shè)計(jì)和計(jì)算
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白菜真空預(yù)冷熱質(zhì)遷移模型及實(shí)驗(yàn)研究
以柱狀白菜為研究對(duì)象,建立了熱質(zhì)遷移數(shù)學(xué)模型,并對(duì)該模型采用實(shí)驗(yàn)的方法加以驗(yàn)證。
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電子束焊接:極窄的焊縫和可靠的連接
對(duì)于很深而且很窄的平面焊縫時(shí),電子束焊接技術(shù)是一個(gè)非常可靠的工藝。它可以把角度變形和橫向收縮量及其它一些非理想的影響減到最小。
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SiC薄膜材料理論模擬研究的動(dòng)態(tài)
SiC因其寬的禁帶寬度、高的電子飽和速度、大的臨界擊穿場(chǎng)強(qiáng)、高的熱導(dǎo)率和熱穩(wěn)定性等特性而成為制作高頻、大功率和耐高溫器件的理想材料。
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摩擦條件對(duì)摻鎢DLC膜摩擦磨損性能的影響
本研究利用SEM、AES、XRD、Raman 譜儀、納米壓痕儀、劃痕儀和球- 盤磨損實(shí)驗(yàn)機(jī)對(duì)摻鎢DLC膜的微觀結(jié)構(gòu)和摩擦學(xué)性能進(jìn)行了研究
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PECVD法沉積氫化非晶硅薄膜內(nèi)應(yīng)力的研究
利用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)在硅基底上沉積了氫化非晶硅薄膜,通過(guò)納米壓入儀、電子薄膜應(yīng)力分布儀、傅里葉變換紅外光譜儀等表征技術(shù),研究了沉積時(shí)的工藝參數(shù)對(duì)薄膜內(nèi)應(yīng)力的影 響,對(duì)薄膜的本征應(yīng)力、熱應(yīng)力進(jìn)
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平面磁控濺射薄膜厚度均勻性的研究概述
在平面磁控濺射鍍膜系統(tǒng)中,薄膜厚度均勻性作為衡量薄膜質(zhì)量和成膜系統(tǒng)性能的一項(xiàng)重要指標(biāo),得到了國(guó)內(nèi)外學(xué)者們的廣泛研究。
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等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)是借助微波或射頻等使含有薄膜