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推薦鈦升華泵在提高同步輻射環(huán)真空度上的作用

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    參考機(jī)械行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)JB/T2965,探討了微型濺射離子泵性能測(cè)試實(shí)驗(yàn)方法,改建了實(shí)驗(yàn)系統(tǒng),測(cè)量了微型濺射離子泵各項(xiàng)性能指標(biāo)。

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