質(zhì)譜測(cè)量
推薦質(zhì)譜計(jì)的分類與主要性能參數(shù)
質(zhì)譜計(jì)根據(jù)質(zhì)量分析系統(tǒng)的工作原理可分為磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計(jì)、回旋質(zhì)譜計(jì)、飛行時(shí)間質(zhì)譜計(jì)、射頻質(zhì)譜計(jì)、諧振感應(yīng)質(zhì)譜計(jì)和四極質(zhì)譜計(jì)等。
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利用靜態(tài)膨脹法真空裝置和質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)漏孔
本文介紹了利用靜態(tài)膨脹法真空裝置和殘余氣體四極質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)漏孔的方法，通過實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了該方法的可行性，并給出了該裝置測(cè)量范圍(10-5～10-7)Pa.m3／s，裝置的最佳校準(zhǔn)能力小于3.0％(k=2)。
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