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氣體捕集真空泵

推薦集成電路制造中低溫泵的應(yīng)用及產(chǎn)品發(fā)展現(xiàn)狀

本文介紹了國(guó)內(nèi)集成電路制造中進(jìn)口低溫泵產(chǎn)品的技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀，并對(duì)比了不同產(chǎn)品的技術(shù)特點(diǎn)。闡述了國(guó)產(chǎn)低溫泵進(jìn)軍集成電路制造業(yè)的歷程與現(xiàn)狀。

高速電動(dòng)渦輪-壓氣機(jī)的性能測(cè)試結(jié)果分析

高速電動(dòng)渦輪－壓氣機(jī)組件性能試驗(yàn)的結(jié)果，一方面證明將高速電機(jī)引入傳統(tǒng)渦輪－壓氣機(jī)組件而形成的結(jié)構(gòu)方案具有較好的運(yùn)行穩(wěn)定性和可行性，另一方面也說(shuō)明高速電機(jī)的驅(qū)動(dòng)作用可提高空氣循環(huán)機(jī)轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)速度，增大渦
高速電動(dòng)渦輪-壓氣機(jī)組件性能測(cè)試

高速電動(dòng)渦輪－壓氣機(jī)組件具有結(jié)構(gòu)緊湊、能量輸出能力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)，可以根據(jù)需要方便地提供制冷空氣。由該組件構(gòu)成的空氣循環(huán)制冷系統(tǒng)可提高環(huán)境控制系統(tǒng)的可控性和節(jié)能效果，豐富空氣循環(huán)制冷的應(yīng)用領(lǐng)域，是一種很有前
高速電動(dòng)渦輪-壓氣機(jī)組件試驗(yàn)方法

介紹了一種高速電機(jī)驅(qū)動(dòng)的新型渦輪－壓氣機(jī)組件的工作原理和設(shè)計(jì)方法，并對(duì)組件進(jìn)行了性能試驗(yàn)。
微型離子泵抽速測(cè)試結(jié)果及誤差分析

用高純氮?dú)鉃槌樗贉y(cè)試氣體,離子泵對(duì)N2 抽速≥013 L/ s。根據(jù)二極型濺射離子泵對(duì)不同氣體抽速的經(jīng)驗(yàn)比值可知,濺射離子泵對(duì)N2 抽速為對(duì)干燥空氣抽速的85%。
動(dòng)態(tài)流導(dǎo)法測(cè)濺射離子泵抽速原理與步驟

參考機(jī)械行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)JB/T2965,探討了微型濺射離子泵性能測(cè)試實(shí)驗(yàn)方法,改建了實(shí)驗(yàn)系統(tǒng),測(cè)量了微型濺射離子泵各項(xiàng)性能指標(biāo)。
微型濺射離子泵測(cè)試系統(tǒng)及測(cè)試方法

參考國(guó)內(nèi)外濺射離子泵的測(cè)試方法和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),提出了微型濺射離子泵性能的測(cè)試方法,并利用現(xiàn)有實(shí)驗(yàn)設(shè)備設(shè)計(jì)了測(cè)系統(tǒng),實(shí)際測(cè)試了微型濺射離子泵的各項(xiàng)性能指標(biāo)。
大型氦制冷低溫真空系統(tǒng)的其它一些參數(shù)設(shè)計(jì)

介紹了我國(guó)某大型空間環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備中的大型氦制冷低溫真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)研究工作, 對(duì)設(shè)計(jì)研究中的一些技術(shù)問(wèn)題進(jìn)行了研究探討。
氦制冷低溫真空系統(tǒng)的抽速和熱負(fù)荷的最佳化設(shè)計(jì)

影響大型氦制冷低溫真空系統(tǒng)抽速和熱負(fù)荷的主要結(jié)構(gòu)參數(shù)相互制約, 需要通過(guò)蒙特卡洛方法進(jìn)行最佳化設(shè)計(jì)。
大型氦制冷低溫真空系統(tǒng)主要結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

大型氦制冷低溫真空系統(tǒng)的主要技術(shù)性能基本上可以由系統(tǒng)抽速、系統(tǒng)降溫時(shí)間和抽氣面積三項(xiàng)指標(biāo)來(lái)表達(dá)。氦制冷系統(tǒng)的制冷功率對(duì)大型氦制冷低溫真空系統(tǒng)的主要技術(shù)性能的影響也是很大的。
冷凝泵的常規(guī)維護(hù)保養(yǎng)

冷凝泵的常規(guī)維護(hù)保養(yǎng)知識(shí)
冷凝泵的基本原理與制冷過(guò)程

G-M循環(huán)冷凍機(jī)的降溫過(guò)程是吸收外部熱量下降自身溫度的過(guò)程,從能量守恒的角度來(lái)分析,正好與活塞對(duì)外做的功相等。這就是制冷的基本原理。
冷凝泵的內(nèi)部構(gòu)造特點(diǎn)

冷凝泵的內(nèi)部件主要包括導(dǎo)流板、輻射罩、冷板、溫度計(jì)、一級(jí)冷頭、二級(jí)冷頭、冷凍機(jī)、活塞連桿、蓄冷器等等。
低溫泵再生起始和結(jié)束的判斷方法

討論了再生過(guò)程中再生起點(diǎn)和再生終點(diǎn)的判斷方法以及低溫泵冷頭溫度的測(cè)量方法。
制冷機(jī)低溫泵的常見(jiàn)再生方式

低溫泵捕集的氣體可以以固態(tài)、氣態(tài)或液態(tài)方式除去, 由于以固態(tài)方式除去冷凝物存在很多技術(shù)難題,根據(jù)加熱方式的不同, 再生方式一般分為:自然加熱再生、氣體沖洗再生、電加熱再生三類。
在線處理分子篩純化系統(tǒng)閥門故障

介紹分子篩純化系統(tǒng)可以在線處理的閥門故障和處理措施, 結(jié)合再生氣出口閥不停車更換的實(shí)際操作, 總結(jié)不停車處理閥門故障的操作經(jīng)驗(yàn)。
濺射離子泵泵體發(fā)燙故障原因分析

濺射離子泵泵體發(fā)燙故障的發(fā)生通常是由于泵內(nèi)壓強(qiáng)過(guò)高或者油氣進(jìn)入。
濺射離子泵抽速或真空度下降的故障分析

濺射離子泵抽速或真空度下降可能因?yàn)殡x子泵漏氣、離子泵吸氣劑飽和、離子泵泵體重裝后處理不當(dāng)?shù)仍蛟斐傻摹?
冷阱的啟動(dòng)壓強(qiáng)和冷卻冷阱需要的液氮量

冷阱通液氮越早, 液氮消耗量越大, 通液氮越晚, 擋油效果越差。冷阱正常工作前, 必須由300 K 降到80 K 左右, 此間冷卻內(nèi)膽和障板要消耗液氮。這就需要通過(guò)對(duì)內(nèi)膽和障板傳熱計(jì)算液氮量。
冷阱的主要參數(shù)設(shè)計(jì)計(jì)算

講敘了冷阱的主要參數(shù)計(jì)算，冷阱流導(dǎo)、液氮膽與外殼的設(shè)計(jì)、冷阱熱負(fù)荷的計(jì)算、障板的設(shè)計(jì)等等。
低溫泵故障對(duì)低溫泵抽氣性能的影響

氦氣的壓力不足時(shí)會(huì)影響低溫泵的制冷效率，低溫泵的噪音只出現(xiàn)在低溫泵處于低溫時(shí)。此時(shí)極有可能是低溫泵的氦氣受到污染, 需要進(jìn)行除污染程序。