真空規(guī)管
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實(shí)用超高真空精確校準(zhǔn)技術(shù)
介紹了一種超高真空精確校準(zhǔn)技術(shù)。該技術(shù)依賴磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī),因此具有簡單、實(shí)用、不確定度小等優(yōu)點(diǎn)。給出了用該技術(shù)校準(zhǔn)分離規(guī)的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。
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空間真空測量技術(shù)研究
對國內(nèi)外在空間真空測量方面的研究狀況作了簡要描述,對研制的2種空間真空規(guī)進(jìn)行了介紹,并對空間真空測量技術(shù)的后續(xù)研究工作作了展望。
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定向流真空校準(zhǔn)裝置
定向流真空校準(zhǔn)裝置主要用于方向規(guī)的校準(zhǔn)和非平衡態(tài)分子流的研究,裝置由校準(zhǔn)室、進(jìn)氣系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)、磁流體密封及磁力傳動系統(tǒng)四部分組成。
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真空規(guī)校準(zhǔn)裝置
主要講述了靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置、動態(tài)流量法真空基礎(chǔ)標(biāo)準(zhǔn)裝置、程控式真空規(guī)校準(zhǔn)裝置、超高/極高真空標(biāo)準(zhǔn)裝置四種真空規(guī)校準(zhǔn)裝置
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分流法UHV/XHV校準(zhǔn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)與原理
介紹了采用分流法校準(zhǔn)超高/極高真空規(guī)的原理、校準(zhǔn)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)及性能,并分析了它們的優(yōu)缺點(diǎn)。
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流導(dǎo)調(diào)制法UHV/XHV校準(zhǔn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)與原理
介紹了采用流導(dǎo)調(diào)制法校準(zhǔn)超高/極高真空規(guī)的原理、校準(zhǔn)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)及性能,并分析了它們的優(yōu)缺點(diǎn)。
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壓力衰減法UHV/XHV校準(zhǔn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)與原理
介紹了采用壓力衰減法校準(zhǔn)超高/極高真空規(guī)的原理、校準(zhǔn)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)及性能,并分析了它們的優(yōu)缺點(diǎn)。
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