真空規(guī)管
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分子束法UHV/XHV校準(zhǔn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)與原理
介紹了采用分子束法校準(zhǔn)超高/極高真空規(guī)的原理、校準(zhǔn)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)及性能,并分析了它們的優(yōu)缺點(diǎn)。
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超高/極高真空校準(zhǔn)研究進(jìn)展
介紹了采用分子束法、壓力衰減法、流導(dǎo)調(diào)制法以及分流法校準(zhǔn)超高/極高真空規(guī)的原理、校準(zhǔn)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)及性能,并分析了它們的優(yōu)缺點(diǎn)。
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略論絕對(duì)真空計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)
隨著真空度的提高,真空度計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的絕對(duì)性越來(lái)越下降;相對(duì)真空度計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)而言,氣體微流量標(biāo)準(zhǔn)的絕對(duì)性還要更差些。
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活塞式壓力計(jì)的基本原理及應(yīng)用
本文對(duì)活塞壓力計(jì)的工作原理、結(jié)構(gòu)類(lèi)型、誤差因素進(jìn)行了較為詳細(xì)的介紹,并結(jié)合具體實(shí)例,對(duì)活塞壓力計(jì)的不確定因素進(jìn)行了定量分析。
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中國(guó)真空計(jì)量發(fā)展概述
回顧真空(全壓力) 測(cè)量與校準(zhǔn)、分壓力測(cè)量與校準(zhǔn)、氣體微流量測(cè)量與校準(zhǔn)等中國(guó)真空計(jì)量發(fā)展史。
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熱陰極與冷陰極電離規(guī)計(jì)量學(xué)特性比較研究
介紹了3個(gè)熱陰極電離規(guī)和2個(gè)反磁控型冷陰極電離規(guī)的計(jì)量學(xué)特性實(shí)驗(yàn)研究結(jié)果
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基于LabVIEW與TPG25xA的壓強(qiáng)測(cè)量系統(tǒng)
基于LabVIEW軟件開(kāi)發(fā)平臺(tái),通過(guò)PC與TPG25xA的串口通信,實(shí)現(xiàn)了一種壓強(qiáng)測(cè)量系統(tǒng)。
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基于MEMS技術(shù)的電容式微型真空傳感器
介紹了一種以MEMS技術(shù)為基礎(chǔ)的電容式硅微真空傳感器。該傳感器主要采用p+硅自停止腐蝕技術(shù)和陽(yáng)極鍵合技術(shù)制作, 形成了玻璃-硅-玻璃的三明治結(jié)構(gòu)。
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動(dòng)態(tài)流量法超高真空標(biāo)準(zhǔn)裝置
研制成功的動(dòng)態(tài)流量超高真空標(biāo)準(zhǔn)裝置是一臺(tái)用來(lái)校準(zhǔn)真空規(guī)的絕對(duì)真空計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)。裝置由校準(zhǔn)系統(tǒng)、微流量計(jì)系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)組成。
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動(dòng)態(tài)流量法超高真空標(biāo)準(zhǔn)裝置的性能測(cè)試
動(dòng)態(tài)流量法超高真空裝置是用于校準(zhǔn)真空規(guī)的絕對(duì)真空計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)。它由校準(zhǔn) 系統(tǒng)、恒壓式氣體微流量計(jì)和抽氣系統(tǒng)組成。
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工作用熱傳導(dǎo)真空計(jì)的現(xiàn)場(chǎng)計(jì)量校準(zhǔn)
工作用熱傳導(dǎo)真空計(jì)的現(xiàn)場(chǎng)計(jì)量校準(zhǔn)存在問(wèn)題與解決方法。
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超高/極高真空測(cè)量發(fā)展綜述
介紹了熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)的研究進(jìn)展、新型室溫電子源和真空的激光電離測(cè)量技術(shù)在超高/極高真空測(cè)量中的應(yīng)用、小型化超高/極高真空電離規(guī)的發(fā)展以及我國(guó)在超高/極高真空測(cè)量方面的研究進(jìn)展。
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一種新型智能真空測(cè)量?jī)x的研制
敘述的是以DL-5電離真空規(guī)為傳感器, 用單片機(jī)作控制和測(cè)量的一種新型智能真空測(cè)量?jī)x。文中簡(jiǎn)述其工作原理, 詳敘實(shí)現(xiàn)它的方法。
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動(dòng)態(tài)流導(dǎo)法真空校準(zhǔn)裝置
動(dòng)態(tài)流導(dǎo)法真空校準(zhǔn)裝置是真空計(jì)量的標(biāo)準(zhǔn),可用于高真空和超高真空規(guī)的校準(zhǔn),真空度的校準(zhǔn)范圍為10-1~5×10-7 pa,合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度為0.69%~1.4%。
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恒壓式氣體微流量計(jì)的性能測(cè)試
介紹了恒壓式氣體微流量計(jì)的組成及性能實(shí)驗(yàn)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,氣體流量的測(cè)量范圍為(.96×10-9 to4.76×10-4)Pa·m3 / s,不確定度小于4%。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的校準(zhǔn)結(jié)果與德國(guó)PTB 校準(zhǔn)結(jié)果的一致性好于1.3%。
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一種方便高效的真空規(guī)校準(zhǔn)裝置的設(shè)計(jì)
講述了為解決一般采用比對(duì)法校準(zhǔn)真空規(guī)的裝置所存在的一次校準(zhǔn)真空規(guī)數(shù)量較少,且由于校準(zhǔn)表和被校表處在不同的抽空位置造成的讀數(shù)誤差等問(wèn)題,所設(shè)計(jì)出的一套方便高效的真空規(guī)校準(zhǔn)裝置。
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靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)下限延伸方法研究
影響靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)下限的主要因素是器壁放氣,本文提出了使用非蒸散型吸氣劑泵(NEGP) 消除器壁放氣影響來(lái)延伸校準(zhǔn)下限的方法。這種方法將靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)能力的下限延伸到了10-7Pa 量級(jí)。
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DL-10型真空計(jì)產(chǎn)品使用說(shuō)明書(shū)
DL-10型真空計(jì)是石英晶振真空計(jì)。它的量程較寬,精度較高。該 真空計(jì)由規(guī)管與控制單元組成,控制單元的數(shù)碼管顯示壓強(qiáng)值。
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