真空規(guī)管
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DL-10型真空計(jì)的工作原理與測(cè)量范圍
DL-10型真空計(jì)是應(yīng)用石英晶振的諧振阻抗與 氣體壓強(qiáng)有關(guān)的特性做的真空計(jì)。選用的晶振是Φ2×6型,頻率標(biāo)稱值為32.768KHz, 測(cè)量范圍也是1Pa到大氣壓。
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超高真空比對(duì)校準(zhǔn)系統(tǒng)的指標(biāo)測(cè)試與模擬校準(zhǔn)
經(jīng)過對(duì)超高真空比對(duì)校準(zhǔn)系統(tǒng)的指標(biāo)測(cè)試與模擬校準(zhǔn),該裝置具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、實(shí)用、不確定度小等優(yōu)點(diǎn),可以滿足在10- 7~10- 5 Pa 范圍內(nèi)超高真空規(guī)的比對(duì)校準(zhǔn)。
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動(dòng)態(tài)法超高真空比對(duì)校準(zhǔn)系統(tǒng)原理圖
動(dòng)態(tài)法超高真空相對(duì)比對(duì)校準(zhǔn)系統(tǒng)的工作原理是將連續(xù)氣體注入到校準(zhǔn)室中,通過對(duì)校準(zhǔn)室的連續(xù)抽氣,當(dāng)注入的氣體與抽走的氣體達(dá)到平衡時(shí),在校準(zhǔn)室內(nèi)建立起動(dòng)態(tài)平衡壓力。
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真空規(guī)比對(duì)標(biāo)準(zhǔn)裝置期間核查方法
對(duì)真空規(guī)比對(duì)標(biāo)準(zhǔn)裝置采用比對(duì)法進(jìn)行期間核查。真空規(guī)比對(duì)標(biāo)準(zhǔn)裝置是采用動(dòng)態(tài)或靜態(tài)直接比對(duì)法校準(zhǔn)真空計(jì),是一臺(tái)操作方便、使用效率高的真空標(biāo)準(zhǔn)裝置。
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氣體微流量標(biāo)準(zhǔn)裝置期間核查方法
氣體微流量標(biāo)準(zhǔn)是校準(zhǔn)氣體微流量的一種裝置,是真空計(jì)量的基礎(chǔ)標(biāo)準(zhǔn)之一,用于參考漏孔及氣體微流量計(jì)的校準(zhǔn)。對(duì)氣體微流量標(biāo)準(zhǔn)裝置采用多臺(tái)平均值法進(jìn)行期間核查。
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靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置期間核查方法
根據(jù)真空計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的特點(diǎn),從實(shí)用性、可靠性、可行性等方面綜合考慮選擇期間核查方法。靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置期間核查方法常用的核查方法為傳遞比較法。
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熱陰極電離真空計(jì)的電路設(shè)計(jì)
采用脈寬調(diào)制(PWM ) 技術(shù)與推挽變換結(jié)合的方法設(shè)計(jì)出簡(jiǎn)單、實(shí)用、穩(wěn)定可靠的熱陰極電離真空計(jì)的驅(qū)動(dòng)電路。
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電容薄膜規(guī)(CDG)熱流逸效應(yīng)修正方法
電容薄膜規(guī)(CDG)的測(cè)量下限主要取決于分辨率和零點(diǎn)穩(wěn)定性,而溫度的變化會(huì)對(duì)零點(diǎn)穩(wěn)定性產(chǎn)生較大的影響。為了改善CDG的零點(diǎn)穩(wěn)定性能,就必須減少外界溫度變化對(duì)測(cè)量的影響。
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真空規(guī)原位校準(zhǔn)裝置的不確定度分量的分析評(píng)估
對(duì)真空規(guī)原位校準(zhǔn)裝置的不確定度來源進(jìn)行分析評(píng)估,確定該裝置的合成不確定度小于5%,擴(kuò)展不確定度小于10%(k=2),符合國(guó)家二等真空標(biāo)準(zhǔn)不確定度小于10%的要求。
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真空規(guī)原位校準(zhǔn)在不同氣壓下的校準(zhǔn)方法
真空規(guī)原位校準(zhǔn)按照校準(zhǔn)的壓力范圍不同可分為靜態(tài)直接比對(duì)法、動(dòng)態(tài)直接比對(duì)法、壓力衰減法三種。
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真空規(guī)原位置校準(zhǔn)原理和裝置
真空規(guī)原位置校準(zhǔn)裝置校準(zhǔn)真空計(jì)時(shí),通過微調(diào)閥注入所需校準(zhǔn)氣體,當(dāng)校準(zhǔn)容器中所需真空度穩(wěn)定后,用主標(biāo)準(zhǔn)器和被校真空計(jì)同時(shí)測(cè)量校準(zhǔn)容器或真空系統(tǒng)中的同一壓力值,將測(cè)得壓力值進(jìn)行比較。
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皮拉尼(Pirani)真空規(guī)的修理
皮拉尼(Pirani)真空規(guī)利用電熱絲的電阻溫度特性和溫度隨壓強(qiáng)變化關(guān)系,將壓強(qiáng)變換為電阻測(cè)量。
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電容薄膜真空計(jì)的校準(zhǔn)注意事項(xiàng)
電容薄膜真空計(jì)優(yōu)點(diǎn)主要是性能穩(wěn)定,精確度高,靈敏度與氣體種類無關(guān);結(jié)構(gòu)牢固、抗振動(dòng)、壽命長(zhǎng);并可測(cè)蒸氣和腐蝕性氣體的壓力。缺點(diǎn)主要是預(yù)熱時(shí)間很長(zhǎng),可能會(huì)影響工作。
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電離真空計(jì)的校準(zhǔn)的注意事項(xiàng)
電離規(guī)管的結(jié)構(gòu)為一個(gè)圓筒型三極管,它有三個(gè)電極:陰極F發(fā)射電子;柵極A加速電子,收集極C收集離子。校準(zhǔn)電離真空計(jì)時(shí),應(yīng)注意本文提的六點(diǎn)。
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比對(duì)法真空計(jì)校準(zhǔn)系統(tǒng)標(biāo)定實(shí)驗(yàn)過程
在標(biāo)定裝置上開展標(biāo)定實(shí)驗(yàn),首先將校準(zhǔn)真空室抽至極限真空5×10-6 Pa(盡量減小本底誤差),然后依次在1E-4~1E-1Pa的每一個(gè)量級(jí)內(nèi)測(cè)量若干個(gè)樣本數(shù)據(jù), 即在每一量級(jí)內(nèi),通過膨脹過程使真空度緩慢變化,以等間距地讀取穩(wěn)定
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比對(duì)法真空計(jì)校準(zhǔn)系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)原理
膨脹法真空計(jì)校準(zhǔn)系統(tǒng)是靜態(tài)校準(zhǔn)系統(tǒng), 它的最大優(yōu)點(diǎn)是真空系統(tǒng)中的氣流分布是一種較理想的隨機(jī)狀態(tài), 能夠滿足氣體分子運(yùn)動(dòng)論的基本假設(shè)。
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真空校準(zhǔn)系統(tǒng)校準(zhǔn)真空計(jì)的主要步驟
真空校準(zhǔn)系統(tǒng)是依據(jù)校準(zhǔn)真空規(guī)的原理,將一支或幾支參考規(guī)和若干支被校規(guī),一同接到一個(gè)壓力可調(diào)的校準(zhǔn)容器上,進(jìn)行比對(duì)校準(zhǔn)的方法。采用的方法有動(dòng)態(tài)比對(duì)法、靜態(tài)比對(duì)法、靜態(tài)膨脹法。
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復(fù)合真空計(jì)的原理與使用方法
復(fù)合真空計(jì)由溫差電偶真空計(jì)和熱陰極電離真空計(jì)組成,電離真空規(guī)管的高真空測(cè)量一旦測(cè)完, 立刻關(guān)閉規(guī)管燈絲, 可以延長(zhǎng)電離規(guī)管使用壽命。
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